ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА МОРФОЛОГИЮ ПОВЕРХНОСТИ
И ВЫХОДНЫЕ ПАРАМЕТРЫ РЕЗИСТИВНЫХ СТРУКТУР 

Аверин Игорь Александрович, доктор технических наук, профессор кафедры микро- и наноэлектроники Пензенского государственного университета.
Аношкин Юрий Владимирович, аспирант Пензенского государственного университета.
Печерская Римма Михайловна, доктор технических наук, профессор, заведующая кафедрой микро- и наноэлектроники Пензенского государственного университета.

621.316.8

Представлены результаты исследования влияния отжига в воздушной среде на свойства пленок и параметры структур на их основе. Показано, что отжиг приводит к рекристаллизации структуры резистивных пленок, вызывающей изменение свойств, морфологии поверхности пленок и стабилизацию выходных параметров резистивных структур. Разработана физико-математическая модель управления выходными параметрами резистивных структур за счет выбора режимов конденсации и отжига.

 Скачать статью в формате PDF

1. Аверин, И. А. Управляемый синтез гетерогенных систем: получение и свойства : монография / И. А. Аверин. – Пенза : Изд-во Пенз. гос. ун-та, 2006. – 316 с.
2. Аверин, И. А. Исследование морфологии поверхности резистивных пленок многокомпонентных систем / И. А. Аверин, Ю. В. Аношкин, Р. М. Печерская // Физика и технология микро- и наносистем : сборник тезисов докладов 10-й научной молодежной школы по твердотельной электронике (26–27 мая 2007 г.). – СПб. : Изд-во ПИЯФ, 2007. – С. 16. 
3. Аверин, И. А. Влияние условия конденсации на качество поверхности пленок твердых растворов на основе хрома и никеля / И. А. Аверин, Ю. В. Аношкин, Р. М. Печерская // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения : материалы Международной научно-технической конференции (23–27 октября 2007 г.). – М. : МИРЭА, 2007. – Ч. 1. – С. 179–182.
4. Майссел, Л. Технология тонких пленок / Л. Майссел, Р. Глэнг. – М. : Сов. радио, 1977. – Т. 2. – 768 с.
5. Аверин, И. А. Математическое моделирование процессов старения резистивных пленок хромоникелевых сплавов / И. А. Аверин, Ю. В. Аношкин // Молодые ученые – науке, технологиям и профессиональному образованию в электронике : материалы Международной научно-технической школы-конференции (5–9 декабря 2006 г.). – М. : МИРЭА, 2006. – Ч. 2. – С. 80–83.